申请/专利权人：江苏睿新库智能科技有限公司

申请日：2023-12-19

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN117712000A

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.02#实质审查的生效;2024.03.15#公开

摘要：本发明提出了一种用于晶圆盒搬送的空中暂存站及包含其的系统，解决了高空晶圆盒运输作业中，装载口易堵塞，晶圆盒难调配暂存等问题，其方案包括托板、并行式的两滑轨以及两下滑轨，所述下滑轨架设在滑轨底部且其轨道向与滑轨垂直，所述下滑轨在对应滑轨的两侧顶部竖直固定有长度可调的连接杆，连接杆与所述滑轨底面滑动连接，两下滑轨底面沿其轨道向上分别滑动连接有竖板，两竖板远离滑轨的末端固定连接有水平式的底梁，底梁至少包括两个且并行设置，托板至少包括两个且底面固定连接在所述底梁上，底梁并行的两外侧还固定有反光板，滑轨并行的两外侧还设置有与反光板对应的回归反射传感器，托板至少包括两个且每一托板顶面凸起有三点式的定位销。

主权项：1.一种用于晶圆盒搬送的空中暂存站，其特征在于，包括：托板、并行式的两滑轨以及两下滑轨，所述下滑轨架设在滑轨底部且其轨道向与滑轨垂直，所述下滑轨在对应滑轨的两侧顶部竖直固定有长度可调的连接杆，所述连接杆与所述滑轨底面滑动连接，两所述下滑轨底面沿其轨道向上分别滑动连接有竖板，两所述竖板远离滑轨的末端固定连接有水平式的底梁，所述底梁至少包括两个且并行设置，所述托板至少包括两个且底面固定连接在所述底梁上，所述底梁并行的两外侧还固定有反光板，所述滑轨并行的两外侧还设置有与反光板对应的回归反射传感器，所述托板至少包括两个且每一托板顶面凸起有三点式的定位销。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏睿新库智能科技有限公司 一种用于晶圆盒搬送的空中暂存站及包含其的系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD