申请/专利权人：浙江耐思威智能制造有限公司

申请日：2023-08-07

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN220604657U

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;H01L31/18;H01L21/683

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.15#授权

摘要：本实用新型公开了一种吸取式硅片托手，包括支座，支座的一侧壁开设有若干卡槽，若干卡槽的内部均设有托板，若干托板的顶部均设有活动爪，若干托板顶端的一侧开设有多个卡口，若干活动爪的底端均固定连接有插板，若干托板顶端的另一侧均固定连接有固定爪，若干固定爪和若干活动爪的顶部均开设有第一斜面，若干第一斜面的底部均设有第二斜面。本实用新型通过设置有一系列的结构，通过减少硅片与托手的接触面积，从而利于硅片进行涂层扩散的工艺，使得硅片的表面在进行扩散涂层工艺时不易受到托手的划伤，避免持续使用真空吸盘等真空控制系统对硅片进行固定，节省硅片加工时消耗的能源，从而有利于减轻硅片加工时的成本。

主权项：1.一种吸取式硅片托手，包括支座2，其特征在于：所述支座2的一侧壁开设有若干卡槽3，若干所述卡槽3的内部均设有托板1，若干所述托板1的顶部均设有活动爪6，若干所述托板1顶端的一侧开设有多个卡口11，若干所述活动爪6的底端均固定连接有插板10，若干所述托板1顶端的另一侧均固定连接有固定爪9，若干所述固定爪9和若干所述活动爪6的顶部均开设有第一斜面7，若干所述第一斜面7的底部均设有第二斜面8，若干所述第一斜面7的顶部活动嵌设有硅片5。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江耐思威智能制造有限公司 一种吸取式硅片托手

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