申请/专利权人：苏州辰瓴光学有限公司

申请日：2023-12-25

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117894737A

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.16#公开

摘要：本申请涉及一种陶瓷基板的吸取控制方法、吸取控制系统及移栽系统，吸取控制方法包括：获取陶瓷基板的厚度、表面积及表面粗糙度；根据陶瓷基板的厚度、表面积及表面粗糙度计算吸嘴的目标吸力；基于吸嘴的目标吸力确定与吸嘴对应的阀门的目标开度以及吸嘴的目标轴向压缩量；根据目标开度控制阀门的动作；根据目标轴向压缩量控制驱动组件的移动。通过考虑陶瓷基板的厚度、表面积及表面粗糙度影响吸嘴吸力的参数，获得吸嘴对陶瓷基板的目标吸力，同时通过调节与吸嘴对应的阀门的开度及吸嘴的轴向压缩量，以合适的吸力大小吸取陶瓷基板，避免移栽过程中陶瓷基板的脱落或损伤。具有吸取控制系统的移栽系统能够安全地对陶瓷基板进行移栽。

主权项：1.一种陶瓷基板的吸取控制方法，其特征在于，所述陶瓷基板通过取料装置进行吸取，所述取料装置包括若干用于吸取陶瓷基板的吸嘴、用于控制所述吸嘴吸力的阀门以及用于控制所述吸嘴移动的驱动组件，所述吸取控制方法包括：获取陶瓷基板的厚度、表面积及表面粗糙度；根据所述陶瓷基板的厚度、表面积及表面粗糙度计算吸嘴的目标吸力；基于所述吸嘴的目标吸力确定与所述吸嘴对应的所述阀门的目标开度以及所述吸嘴的目标轴向压缩量；根据所述目标开度控制阀门的动作；根据所述目标轴向压缩量控制所述驱动组件的移动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州辰瓴光学有限公司 陶瓷基板的吸取控制方法、吸取控制系统及移栽系统

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