申请/专利权人：上海大尘微影半导体科技有限公司

申请日：2023-08-24

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN220604609U

主分类号：H01J37/20

分类号：H01J37/20;H01J37/26

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.15#授权

摘要：本实用新型涉及调节装置技术领域，公开一种电子束电镜中的XY方向微动调节装置，微动调节装置包括转动块一、转动块二和调节组件，转动块二转动设于转动块一上，调节组件设置于转动块二的X轴方向和Y轴方向，调节组件包括旋转杆和螺孔结构，旋转杆包括螺距不同的螺纹杆一和螺纹杆二，螺纹杆一固定设置于螺纹杆二的一端，螺孔结构与旋转杆螺纹连接，用于XY方向微动调节。本实用新型微动调节装置，其中利用机械机构进行调节，调节采用螺纹杆与螺纹孔配合，两个螺纹杆的移动差值进行精密调节，而且调节过程操作简单，通过螺纹杆一与螺纹杆二的螺距不同，转动一圈，利用移动差距顶移柔性块，进行微距调节，提高调节的精度。

主权项：1.一种电子束电镜中的XY方向微动调节装置，其特征在于，所述微动调节装置包括转动块一1、转动块二2和调节组件，转动块二2转动设于转动块一1上；所述调节组件设置于转动块二2的X轴方向和Y轴方向，调节组件包括旋转杆6和螺孔结构，旋转杆6包括螺距不同的螺纹杆一61和螺纹杆二62，螺纹杆一61固定设置于螺纹杆二62的一端，螺孔结构与旋转杆6螺纹连接，用于XY方向微动调节。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海大尘微影半导体科技有限公司 一种电子束电镜中的XY方向微动调节装置

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