申请/专利权人：科磊股份有限公司

申请日：2022-12-07

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117730246A

主分类号：G01N21/21

分类号：G01N21/21;H01L21/66;G02B5/30;G01N21/956;G01N21/95;G01N21/88;G01N21/47

优先权：["20211214 US 63/289,258","20220531 US 17/829,289","20220531 US 17/829,296"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.19#公开

摘要：一种光学检验系统包含用于将从目标散射的光的偏振从跨收集光瞳在空间上变化的椭圆偏振转换成跨所述收集光瞳一致定向的线性偏振的一或多个光栅。在一些实施例中，所述一或多个光栅是单材料光栅。在一些实施例中，所述一或多个光栅包含反射衬底上的至少一个光栅。所述一或多个光栅具有根据所述椭圆偏振跨所述收集光瞳在空间上变化的相位延迟。所述光学检验系统还包含用于滤除所述线性偏振光的线性偏振器。

主权项：1.一种光学检验系统，其包括：一或多个单材料光栅，其用于将从目标散射的光的偏振从跨收集光瞳在空间上变化的椭圆偏振转换成跨所述收集光瞳一致定向的线性偏振，其中所述一或多个单材料光栅具有根据所述椭圆偏振跨所述收集光瞳在空间上变化的相位延迟；及线性偏振器，其用于滤除所述线性偏振光。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 科磊股份有限公司 用于光瞳偏振滤波的波板

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