申请/专利权人：湖北九峰山实验室

申请日：2023-11-06

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117723779A

主分类号：G01P15/08

分类号：G01P15/08;B81B7/02;B81B7/00;B81C1/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明提供一种MEMS加速计器件结构及其制备方法，属于MEMS加速计技术领域。该MEMS加速计器件结构包括信号互联晶圆、器件层和盖板；器件层与盖板之间形成有至少一个第一空腔，信号互联晶圆与器件层之间形成有至少一个第二空腔；盖板上设有至少一个第一通孔，或和信号互联晶圆上设有至少一个第二通孔；该器件结构还包括用于密封第一通孔的第一封孔层或和用于密封第二通孔的第二封孔层。该器件结构的制备方法中将镀疏水材料的步骤移到部件结合步骤之后，既不影响器件密封性能，又避免疏水材料受温度的影响，并保证器件结构内部所有的表面均能镀疏水材料，达到更好的防粘合效果。

主权项：1.一种MEMS加速计器件结构，其特征在于，由下至上包括信号互联晶圆、器件层和盖板；所述器件层与所述盖板之间形成有至少一个第一空腔，所述信号互联晶圆与所述器件层之间形成有至少一个第二空腔；所述盖板上设置有至少一个第一通孔，或和所述信号互联晶圆上设置有至少一个第二通孔；所述盖板远离所述器件层的一侧表面上设置有至少一层第一封孔层用于密封所述第一通孔；或和所述信号互联晶圆远离所述器件层的一侧表面上设置有至少一层第二封孔层用于密封所述第二通孔。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 湖北九峰山实验室 一种MEMS加速计器件结构及其制备方法

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