申请/专利权人：深圳市恒运昌真空技术有限公司

申请日：2023-12-04

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117728704A

主分类号：H02M7/5387

分类号：H02M7/5387;H02M1/32;H01J37/32

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.19#公开

摘要：本发明涉及一种基于多脉冲信号驱动的射频电源及射频电源系统，属于射频电源技术领域，解决了现有射频电源在脉冲切换期间容易导致电路损毁的问题。该射频电源的主控模块中内置多脉冲发生器、切换控制器和切换器；其中，切换控制器连接在射频电源的输出端和切换器之间；切换器连接在多脉冲发生器与射频电源的逆变器之间；多脉冲发生器，基于参考信号产生多级脉冲信号，各级脉冲信号的输出功率及频率不同；切换控制器，根据采集的射频电源的输出端的电信号，发出相应级别的脉冲信号的脉冲切换指令；切换器，基于脉冲切换指令对多脉冲发生器产生的多级脉冲信号进行切换，并输出到逆变器对射频电源进行驱动，切换射频电源的输出功率及频率。

主权项：1.一种基于多脉冲信号驱动的射频电源，其特征在于，所述射频电源的主控模块中内置多脉冲发生器、切换控制器和切换器；其中，所述切换控制器连接在所述射频电源的输出端和所述切换器之间；所述切换器连接在所述多脉冲发生器与射频电源的逆变器之间；所述多脉冲发生器，基于参考信号产生多级脉冲信号，各级脉冲信号的输出功率及频率不同；所述切换控制器，根据采集的射频电源的输出端的电信号，发出相应级别的脉冲信号的脉冲切换指令；所述切换器，基于所述脉冲切换指令对所述多脉冲发生器产生的多级脉冲信号进行切换，并输出到逆变器对射频电源进行驱动，切换射频电源的输出功率及频率。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市恒运昌真空技术有限公司 一种基于多脉冲信号驱动的射频电源及射频电源系统

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