申请/专利权人：济南大学

申请日：2023-12-20

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117729833A

主分类号：H10N15/00

分类号：H10N15/00;B23K26/352

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明公开了一种在空气中实现铌酸锂钽酸锂晶片热释电压增强的方法。将抛光后的晶片置于空气氛围中，按照设定的图形，使激光聚焦照射铌酸锂钽酸锂晶片，得到表层被黑化的铌酸锂钽酸锂晶片。本发明在空气氛围内，采用激光聚焦照射铌酸锂钽酸锂晶片，能够快速实现铌酸锂钽酸锂晶片表层氧空位诱导，同时还可以对表层氧空位诱导的区域进行选择，能使晶片具有热释电性能，用于提高热释电传感器的灵敏度。

主权项：1.一种在空气中实现铌酸锂钽酸锂晶片热释电压增强的方法，其特征在于，所述方法为：将抛光后的晶片置于空气氛围中，按照设定的图形，使激光聚焦照射晶片，得到表层被黑化的晶片。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 济南大学 一种在空气中实现铌酸锂/钽酸锂晶片热释电压增强的方法

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