申请/专利权人：中科院南京耐尔思光电仪器有限公司;中科院南京天文仪器有限公司

申请日：2023-12-21

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117722986A

主分类号：G01B11/255

分类号：G01B11/255

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明公开了一种测量大口径球面镜超大曲率半径的方法。主要步骤有：1搭建大口径球面镜超长曲率半径测量光路；2调节波前探测器位置至系统会聚点附近，使系统波前能够完整地被波前探测器靶面接收；3通过Zernike多项式拟合出波前探测器获得的波面，以获得系统波像差的Zernike0°Astigmatism项W6；4用激光跟踪仪对激光光源至待测球面的入射角θ进行测量；5计算待测球面曲率半径。本发明的方法可更加精确客观地测量大曲率球面镜的曲率半径，缩短了光路长度，从而减小振动、温度和气流等环境因素的干扰，且该方法既可测量凹球面，也能测量凸球面。

主权项：1.一种测量大口径球面镜超大曲率半径的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：搭建大口径球面镜超长曲率半径测量光路系统；由激光干涉仪出射的球面波激光经分光镜倾斜入射至待测球面镜，由待测球面镜反射后正入射至标准球面镜；再由标准球面镜反射后沿原路返回至分光镜，经分光镜反射后被波前探测器接收；步骤2：调节波前探测器位置至系统焦点附近，使系统波前能够完整地被波前探测器靶面接收，从波前探测器获得系统波像差；步骤3：用Zernike多项式拟合出波前探测器获得的波面，以获得波前的Zernike0°Astigmatism项W6；步骤4：采用激光跟踪仪对激光干涉仪至待测球面镜的入射角，即待测球面镜法线与系统主光轴夹角θ，进行测量；步骤5：通过公式计算待测球面镜曲率半径，式中，λ是测量所用激光波长。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中科院南京耐尔思光电仪器有限公司;中科院南京天文仪器有限公司 一种测量大口径球面镜超大曲率半径的方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD