申请/专利权人：细美事有限公司

申请日：2023-06-14

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117727612A

主分类号：H01J37/32

分类号：H01J37/32;H01L21/67;B08B7/00

优先权：["20220916 KR 10-2022-0116953"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.19#公开

摘要：本发明的实施例提供一种对基板进行表面处理以及可以有效地执行处理腔室的清洗的等离子体生成模组、其工作方法以及包括其的等离子体处理装置。根据本发明的等离子体处理装置中，在处理空间用于形成等离子体的等离子体生成模组包括：电源，用于形成所述等离子体并提供功率；电极部件，与所述电源电连接；支承部件，支承所述电极部件的下部；离子阻挡部件，与所述支承部件的下部结合并将所述处理空间划分为上处理空间以及下处理空间，在所述上处理空间中阻挡离子成分并且形成有使自由基成分选择性地穿过所述下处理空间的贯通孔；以及转换模组，构成为将所述电极部件和所述离子阻挡部件彼此电连接或电分离。

主权项：1.一种等离子体生成模组，用于在等离子体处理装置中的处理空间形成等离子体，其中，所述等离子体生成模组包括：电源，供应用于形成所述等离子体的功率；电极部件，与所述电源电连接；支承部件，支承所述电极部件的下部；离子阻挡部件，与所述支承部件的下部结合而将所述处理空间划分为上处理空间以及下处理空间，并在所述上处理空间中阻挡离子成分，并且形成有使自由基成分选择性地向所述下处理空间穿过的贯通孔；以及转换模组，构成为将所述电极部件和所述离子阻挡部件彼此电连接或电分离。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 细美事有限公司 等离子体生成模组、其工作方法以及等离子体处理装置

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