申请/专利权人:株式会社村田制作所
申请日:2022-10-18
公开(公告)日:2024-03-19
公开(公告)号:CN117730481A
主分类号:H03H9/145
分类号:H03H9/145
优先权:["20211026 JP 2021-174631"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开
摘要:提供不仅能够改善线性度还能够实现小型化的弹性波装置。在弹性波装置1中,压电膜4直接或间接地层叠于支承基板2,具备设置于压电膜4的第一主面4a的第一IDT电极5和设置于第二主面4b的第二IDT电极15,第一、第二IDT电极5、15中的一方包括外延膜,第一、第二IDT电极5、15中的另一方包括非外延膜。
主权项:1.一种弹性波装置,具备:支承基板;压电膜,其具有相对置的第一主面及第二主面,从所述第二主面侧直接或间接地层叠于所述支承基板;以及第一IDT电极及第二IDT电极,其分别设置于所述压电膜的所述第一主面及第二主面,所述第一IDT电极及第二IDT电极中的一方包括外延膜,所述第一IDT电极及第二IDT电极中的另一方包括非外延膜。
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