申请/专利权人：广州先进技术研究所

申请日：2023-12-15

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117721413A

主分类号：C23C14/08

分类号：C23C14/08;C23C14/28;C23C14/58;C23C14/04

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明公开了一种高通量可稳定极化的铁电‑介电薄膜及其制备方法。所述一种高通量可稳定极化的铁电‑介电薄膜，包括，基底层，以及在所述基底层上依次生长的底电极层和功能层；所述功能层是基于底电极层生长的BaTiO3铁电层和介电层薄膜；功能层包括按3×3排列的9个区域，9个区域的介电层厚度呈梯度分布。本发明通过特殊设计的掩膜系统短时间内批量制备出不同厚度的高通量可稳定极化的铁电‑介电薄膜，提高了薄膜材料的制备效率；解决了传统铁电薄膜制备过程中效率低下，成本过高、可对比性差的问题。通过筛选制备参数，本发明制备出具有可稳定极化性能的铁电‑介电薄膜，有望使其应用于航空航天技术领域。

主权项：1.一种高通量可稳定极化的铁电-介电薄膜，其特征在于，包括，基底层，以及在所述基底层上依次生长的底电极层和功能层；所述功能层是基于底电极层生长的BaTiO3铁电层和介电层；功能层包括按3×3排列的9个区域，9个区域的介电层厚度呈梯度分布。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广州先进技术研究所 一种高通量可稳定极化的铁电-介电薄膜及其制备方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD