申请/专利权人:精工爱普生株式会社
申请日:2021-11-15
公开(公告)日:2024-03-19
公开(公告)号:CN114504344B
主分类号:A61B8/06
分类号:A61B8/06;A61B8/12;A61B8/00;H04R17/00
优先权:["20201116 JP 2020-190124"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.03.19#授权;2022.06.03#实质审查的生效;2022.05.17#公开
摘要:本发明公开了压电致动器、超声波元件、超声波探针以及超声波装置,能够抑制不必要的频率的振动的出现。压电致动器具备:振动板,具有将设置于基板的开口部封闭的第一面和设置有多个压电元件的第二面;抑制部,抑制振动板的振动;以及多个立壁,从第一面向开口部延伸,在将第一电极、压电体层以及第二电极重叠的部分设为压电元件的有源部时,在从第一电极、压电体层以及第二电极的层叠方向俯视观察时,立壁设置于相邻的有源部之间,在与层叠方向正交的面内,相邻的立壁间的距离大于相邻的有源部间的距离。
主权项:1.一种压电致动器,其特征在于,具备:基板,形成有开口部;振动板,设置于所述基板,所述振动板的第一面封闭所述开口部;多个压电元件,在所述振动板的与所述第一面相反一侧的第二面,与所述开口部对应设置;抑制部,与所述压电元件对应设置,并抑制所述振动板的振动;以及多个立壁,从所述第一面向所述开口部延伸,在所述压电元件中,从所述第二面侧依次层叠有第一电极、压电体层、第二电极,在将所述第一电极、所述压电体层以及所述第二电极重叠的部分设为有源部时,在从层叠方向俯视观察时,所述立壁设置于相邻的所述有源部之间,在与所述层叠方向正交的面内,相邻的所述立壁间的距离大于相邻的所述有源部间的距离,相邻的所述立壁间的距离是相邻的所述抑制部间的距离的2倍以上。
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权利要求:
百度查询: 精工爱普生株式会社 压电致动器、超声波元件、超声波探针以及超声波装置
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