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【发明授权】射频功率检测装置及系统_深圳市瀚强科技股份有限公司_202311799201.8 

申请/专利权人:深圳市瀚强科技股份有限公司

申请日:2023-12-26

公开(公告)日:2024-03-19

公开(公告)号:CN117452061B

主分类号:G01R21/00

分类号:G01R21/00;G01R31/40

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.03.19#授权;2024.02.13#实质审查的生效;2024.01.26#公开

摘要:本申请实施例公开了一种射频功率检测装置及系统,所述装置包括:第一微带线,所述第一微带线与射频电源连接;第二微带线,第二微带线与第一微带线平行设置且与第一微带线耦合,第二微带线上的预设点接地,预设点用于指示第二微带线的物理隔离点;电压检测单元,电压检测单元与第二微带线的一端连接,用于测试第二微带线的电压;电容单元,电容单元分别连接第一微带线和第二微带线,或第二微带线上的预设点通过电容单元接地,电容单元用于根据第一微带线和第二微带线的实际距离选择不同的电容值,以实现实际距离与第一微带线和第二微带线的预设距离相等。本申请可以检测微带线的电压,计算射频功率,以提高射频电源的电压检测准确度。

主权项:1.一种射频功率检测装置,其特征在于,包括:第一微带线,所述第一微带线与射频电源连接;第二微带线,所述第二微带线与所述第一微带线平行设置且与所述第一微带线耦合,所述第二微带线上的预设点接地,所述预设点用于指示所述第二微带线的物理隔离点;电压检测单元,所述电压检测单元与所述第二微带线的一端连接,用于测试所述第二微带线的电压;电容单元,所述电容单元包括电容子单元和控制子单元,所述电容子单元与所述控制子单元连接,所述控制子单元用于基于所述电容子单元控制所述电容单元的输出电容值,所述电容单元分别连接所述第一微带线和所述第二微带线,或所述第二微带线上的预设点通过所述电容单元接地,所述电容单元用于根据所述第一微带线和所述第二微带线的实际距离选择不同的电容值,以实现所述实际距离与所述第一微带线和所述第二微带线的预设距离相等;距离测试单元,所述距离测试单元分别连接所述电容单元和所述电压检测单元,所述距离测试单元用于测量所述预设点的电压;并在所述预设点的电压大于零的情况下向所述控制子单元发送第一距离信号,在所述预设点的电压小于零的情况下向所述控制子单元发送第二距离信号,在所述预设点的电压为零的情况下向所述电压检测单元发送第三距离信号,所述第一距离信号用于指示所述实际距离小于所述预设距离,所述第二距离信号用于指示所述实际距离大于所述预设距离,所述第三距离信号用于指示所述实际距离等于所述预设距离。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 深圳市瀚强科技股份有限公司 射频功率检测装置及系统

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