申请/专利权人：江苏和达电子科技有限公司;四川和晟达电子科技有限公司

申请日：2021-04-22

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN114180672B

主分类号：C02F1/42

分类号：C02F1/42;C02F103/16

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2022.04.01#实质审查的生效;2022.03.15#公开

摘要：本发明公开了一种蚀刻液回收系统，包括废液罐，交换树脂2，回收罐，输送泵，电磁阀门和输液管道等组件；其中废液罐，交换树脂，回收罐，输送泵，电磁阀门之间通过输液管道连接，通过输液管道输送蚀刻液废液。本发明申请通过合理的设备系统安排和交换树脂的净化方法，有效提高了蚀刻液的回收效率95％，并且且能够保证蚀刻液中有效成分保存，确保蚀刻液循环使用性能，适宜在蚀刻液领域推广，具有广阔的发展前景，使用时无环境污染，交换树脂可以随时拆卸清洗并再生利用。

主权项：1.一种蚀刻液回收系统，其特征在于：包括废液罐（1），交换树脂（2），回收罐（3），输送泵（4），电磁阀门（5）和输液管道（6）；其中废液罐（1），交换树脂（2），回收罐（3），输送泵（4），电磁阀门（5）之间通过输液管道（6）连接，所述输液管道（6）的管路直径为15~20cm，输送蚀刻液废液；所述废液罐（1）用于存放蚀刻液废液，废液罐（1）与交换树脂（2）管道连接，废液罐（1）与交换树脂（2）之间设置有电磁阀门（5）控制废液输出量；所述交换树脂（2）用于净化蚀刻液废液；所述交换树脂（2）为圆柱形树脂柱；所述交换树脂（2）的个数为2~4个，交换树脂（2）之间管道连接，每两个交换树脂（2）的连接管道中设置有输送泵（4），输送泵（4）前设置有电磁阀门（5）控制废液输出量；所述回收罐（3）用于回收储存和输出交换树脂（2）净化后的蚀刻液；所述回收罐（3）与交换树脂（2）管道连接；所述回收罐（3）后还设置有出料管口（7）用于蚀刻液的提取；所述回收罐（3）的前后管道中设置有电磁阀门（5）控制蚀刻液流量；所述蚀刻液的金属离子浓度为6000~12000ppm；所述交换树脂（2）为功能改性丙烯酸型树脂微球；所述功能改性丙烯酸型树脂微球为自制，步骤包含以下几步：（1）取聚丙烯酸树脂微球，去离子水清洗10~20分钟3~4次，之后真空烘箱烘干；（2）将清洗后的聚丙烯酸树脂微球与有机胺按照比例混合，升温至140~180℃加热反应20~24小时；（3）反应完成后通过有机溶剂提取，经过去离子水清洗、烘干，既得所述功能改性丙烯酸型树脂微球；所述聚丙烯酸树脂微球与有机胺的质量比为1~1.5：7~9。

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