申请/专利权人：上海大族富创得科技股份有限公司

申请日：2024-01-08

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117524957B

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2024.02.27#实质审查的生效;2024.02.06#公开

摘要：本申请提供了用于晶圆盒的装载开盒机构，属于半导体技术领域。针对装载开盒机构工作效率有限导致晶圆转移效率较低的问题，本申请提供了用于晶圆盒的装载开盒机构，包括支撑板，支撑板竖直排列设置有第一装载模组和第二装载模组；控制模组，同时与第一装载模组和第二装载模组连接，并交替控制第一装载模组和第二装载模组传输晶圆盒；控制模组设置于支撑板的第一侧面；且支撑板的第二侧面对应于第一装载模组与第二装载模组之间形成有容纳空间。本申请通过第一装载模组和第二装载模组交替工作，提高了装载开盒机构的工作效率，实现工艺设备内晶圆传输机械臂不间断传输晶圆，从而提高了晶圆的转运效率。

主权项：1.一种用于晶圆盒的装载开盒机构，其特征在于，包括：支撑板，所述支撑板具有相对设置的第一侧面和第二侧面，所述支撑板竖直排列设置有第一装载模组和第二装载模组；控制模组，设置于所述第一装载模组与所述第二装载模组之间，且所述控制模组同时与所述第一装载模组和所述第二装载模组连接，并交替控制所述第一装载模组和所述第二装载模组传输晶圆盒；所述控制模组设置于所述支撑板的第一侧面；且所述支撑板的第二侧面对应于所述第一装载模组与所述第二装载模组之间形成有容纳空间；所述第一装载模组包括：第一开口，贯通设置于所述支撑板；第一装载平台，对应于所述第一开口设置，并位于所述支撑板的第一侧面；第一开门组件，活动设置于所述支撑板的第二侧面且可密闭覆盖所述第一开口；第一驱动组件，与所述第一开门组件传动连接，并带动所述第一开门组件在所述第一开口与所述容纳空间之间活动；所述第二装载模组包括：第二开口，贯通设置于所述支撑板；第二装载平台，对应于所述第二开口设置，并位于所述支撑板的第一侧面；第二开门组件，活动设置于所述支撑板的第二侧面且可密闭覆盖所述第二开口；第二驱动组件，与所述第二开门组件传动连接，并带动所述第二开门组件在所述第二开口与所述容纳空间之间活动；所述控制模组交替控制所述第一驱动组件和所述第二驱动组件，并使得所述容纳空间交替容纳所述第一开门组件和所述第二开门组件。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海大族富创得科技股份有限公司 用于晶圆盒的装载开盒机构

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