申请/专利权人：紫石能源有限公司

申请日：2018-08-29

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN110875209B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2021.04.13#实质审查的生效;2021.02.02#专利申请权的转移;2020.03.10#公开

摘要：本发明提供了一种处理装置，包括：载具，用于放置产品；浸泡机构，浸泡机构能够储存液体，浸泡机构用于浸泡产品；第一移动机构，可移动地设置，第一移动机构具有将载具至少部分地放入浸泡机构的第一工况以及将载具从浸泡机构取出的第二工况；第二移动机构，可移动地设置在第一移动机构上，第二移动机构包括吸附机构，吸附机构用于吸附和移动产品以将产品放入载具中。通过本发明提供的技术方案，可以自动将未完全分离的薄膜和晶片集中接收和处理，从而可以代替现有的人工处理的方式，提高处理效率，并且可以避免损伤薄膜。

主权项：1.一种处理装置，其特征在于，包括：载具10，用于放置产品；浸泡机构20，所述浸泡机构20能够储存液体，所述浸泡机构20用于浸泡所述产品；第一移动机构30，可移动地设置，所述第一移动机构30具有将所述载具10至少部分地放入所述浸泡机构20的第一工况以及将所述载具10从所述浸泡机构20取出的第二工况；第二移动机构，可移动地设置在所述第一移动机构30上，所述第二移动机构包括吸附机构50，所述吸附机构50用于吸附和移动所述产品以将所述产品放入所述载具10中；所述吸附机构50包括：吸盘51，所述吸盘51用于吸附和释放所述产品；第三驱动部52，所述吸盘51设置在所述第三驱动部52上，所述第三驱动部52具有将所述吸盘51移动到所述载具10外部的第七工况以及将所述吸盘51移动到所述载具10内部的第八工况；所述吸盘51内具有多个吸气孔，多个所述吸气孔的进气口间隔设置在所述吸盘51的下表面，多个所述吸气孔用于形成负压以吸附所述产品；所述第三驱动部52用于带动所述吸盘51竖直移动，所述载具10包括：底板12；侧板13，所述侧板13围绕在所述底板12的周缘以形成用于放置所述产品的容纳腔，所述容纳腔的上部具有入料口；所述第一移动机构30包括：支架31，可移动地设置，所述第二移动机构设置在所述支架31上；第一托架32，设置在所述支架31上，所述第二移动机构至少部分地位于所述第一托架32的上方，所述第一托架32用于承载所述载具10；所述第一移动机构30至少部分地位于所述浸泡机构20的上方，所述第一移动机构30还包括：第四驱动部33，所述支架31设置在所述第四驱动部33上，所述第四驱动部33用于带动所述支架31竖直移动；所述第一托架32包括间隔设置的两个托臂321，两个所述托臂321用于共同承载所述载具10，所述第二移动机构能够将所述产品放入所述第一托架32上的所述载具10中。

全文数据：

权利要求：

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