申请/专利权人:极电光能有限公司
申请日:2023-08-17
公开(公告)日:2024-03-19
公开(公告)号:CN220611093U
主分类号:B05C9/10
分类号:B05C9/10;B05C9/12;B05D3/04;B05D3/00;B08B3/02
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.03.19#授权
摘要:本实用新型公开了一种预涂布装置。预涂布装置包括预涂布平台、移载台、旋转组件和清洗组件,预涂布平台位移调节在移载台的上端以使预涂布平台的一端靠近或远离涂布基板的一端;移载台的下端固定在旋转组件上,旋转组件可纵向旋转带动移载台上下翻转;清洗组件设置在旋转组件的下方,且用于对翻转朝下状态的预涂布平台的已涂布表面进行清洗。该预涂布装置不仅可有效的消除涂布起始阶段在基板上带来的条纹现象,提高膜的均匀性,且便于预涂布平台表面的清洗以能够重复使用。
主权项:1.一种预涂布装置,其特征在于,包括:预涂布平台;移载台,所述预涂布平台位移调节在所述移载台的上端以使所述预涂布平台的一端靠近或远离涂布基板的一端;旋转组件,所述移载台的下端固定在所述旋转组件上,所述旋转组件可纵向旋转带动所述移载台上下翻转;清洗组件,所述清洗组件设置在所述旋转组件的下方,且用于对翻转朝下状态的所述预涂布平台的已涂布表面进行清洗。
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