申请/专利权人：广东芯微精密半导体设备有限公司

申请日：2023-01-04

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220619179U

主分类号：C25D17/12

分类号：C25D17/12;C25D3/38;C25D7/12;C25D17/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本实用新型展示了一种多功能阳极电极，涉及半导体加工技术领域，包括一种多功能阳极电极本体，多功能阳极电极本体为圆形，其为金属材质；所述多功能阳极电极包括电极安装孔，电极导电线安装孔，电镀液喷流孔，所述电极安装孔为圆形，位于多功能阳极电极边缘，呈环形阵列分布；所述电极导电线安装孔位于多功能阳极电极的中心位置，其设计为喇叭形螺丝孔；所述电镀液喷流孔围绕电极安装孔呈环形阵列均匀分布在多功能阳极电极上，电镀液喷流孔呈蜂窝状分布在多功能阳极电极上；本多功能阳极电极相比于传统电镀铜阳极可以提高电镀效率4倍以上，提高电镀均匀性8％以上，避免阳极泥污染镀液，改善产品质量。

主权项：1.一种多功能阳极电极，其特征在于：包括圆形平面结构的阳极本体，多功能阳极电极本体为圆形，其为金属材质；所述多功能阳极电极包括电极安装孔，电极导电线安装孔，电镀液喷流孔；所述电极安装孔为圆形，位于多功能阳极电极边缘范围内，所述电极安装呈等距环形阵列分布，其直径为3mm～9mm之间；所述电镀液喷流孔围绕电极安装孔呈环形阵列均匀分布在多功能阳极电极上，其位于多功能阳极电极的中心位置，其设计为喇叭形螺丝孔；所述多功能阳极电极为采用钛材料或不锈钢制成的圆形平面结构，其厚度2-4mm；所述多功能阳极电极两侧表面涂覆有氧化铱涂层，该多功能阳极电极相比于传统电镀铜阳极可以提高电镀效率，提高电镀均匀性，避免阳极泥污染镀液，改善产品质量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东芯微精密半导体设备有限公司 一种多功能阳极电极

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