申请/专利权人：上海积塔半导体有限公司

申请日：2023-08-28

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220625540U

主分类号：G01K7/02

分类号：G01K7/02;F27D21/00;G01K1/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本申请提供一种炉管温度检测系统，该炉管温度检测系统包括增设并联的第二温控线路；第二温控线路包括支路转换模块、温度传感器和电路板；其中两支路包括第一支路和第二支路；一控温区通过支路转换模块连接于第一支路和第二支路后，依次连接温度传感器和电路板；电路板的一端通过温度传感器触点连接于直流电压，电路板的另一端设置有第一数字接口，工艺控制器对应设置有第二数字接口；支路转换模块的一组设置于控温区，用于测温，支路转换模块的另一组设置于温度传感器内，以便温度传感器显示实时温度数值；电路板用于当炉管温度检测系统中发生异常时断开第一支路，但第二支路工作，进而使系统发出报警等，提高了机台的可靠性和安全性。

主权项：1.一种炉管温度检测系统，其特征在于，所述炉管温度检测系统包括：主系统控制器、温度控制器、工艺控制器、多个炉体控温区、第一温控线路和第二温控线路；温度控制器与工艺控制器之间设置有第一温控线路；温度控制器用于获得炉体多个控温区中的腔体内温度；工艺控制器用于获得炉体多个控温区中的腔体外温度；炉体每个控温区中的腔体内温度分别与腔体外温度一一对应；第一温控线路用于获取正常工作时的温度数值；第一温控线路和第二温控线路并联设置于炉体控温区与工艺控制器之间；第二温控线路设置有两支路，包括支路转换模块、温度传感器和电路板；其中，两支路包括第一支路和第二支路；一控温区通过支路转换模块连接于第一支路和第二支路后，依次连接温度传感器和电路板；电路板的一端通过温度传感器触点连接于直流电压，电路板的另一端设置有第一数字接口，工艺控制器对应设置有第二数字接口；支路转换模块的一组设置于控温区，用于测温，支路转换模块的另一组设置于温度传感器内，以便温度传感器显示实时温度数值；电路板用于根据实时温度数值与预设阈值的比较结果，确定其与温度传感器触点的断开或连接，以便第二温控线路中的第二支路断开，第一支路工作，第一温控线路和第一支路正常工作；或者连通第二温控线路的第二支路，以便第二支路工作，第一支路和第一温控线路异常失效；第一数字接口和第二数字接口用于当炉管温度检测系统发生异常时实现两者之间的数据传输。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海积塔半导体有限公司 炉管温度检测系统

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