申请/专利权人:深圳市天戈微电子有限公司
申请日:2023-08-23
公开(公告)日:2024-03-19
公开(公告)号:CN220612640U
主分类号:B23K26/16
分类号:B23K26/16;B23K26/70;B01D46/10
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.03.19#授权
摘要:本实用新型公开了一种集成电路激光微加工用除尘装置,涉及集成电路激光微加工技术领域。该集成电路激光微加工用除尘装置,包括机壳,所述机壳的底端内壁转动连接有支撑轴,所述支撑轴的顶端固定连接有固定板,所述固定板的底端固定连接有连接管,所述连接管的右端内壁通过复位弹簧弹性连接有限位块,所述连接管的右端内壁固定连接有导向管,所述连接管的外壁转动连接有圆盘,所述圆盘的内壁滑动连接有夹板,所述机壳的顶端内壁设置有激光枪。本实用新型中能够代替电控的方式固定,操作简单使用成本以及维修成本较低,相较于手动多次摇动摇把更加方便,通过设置两组夹板实现双工位加工,一定程度提高了激光加工的效率。
主权项:1.一种集成电路激光微加工用除尘装置,包括机壳1,其特征在于:所述机壳1的底端内壁转动连接有支撑轴2,所述支撑轴2的顶端固定连接有固定板3,所述固定板3的底端固定连接有连接管4,所述连接管4的右端内壁通过复位弹簧5弹性连接有限位块6,所述连接管4的右端内壁固定连接有导向管7,所述连接管4的外壁转动连接有圆盘8,所述圆盘8的内壁滑动连接有夹板9,所述机壳1的顶端内壁设置有激光枪10。
全文数据:
权利要求:
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