申请/专利权人：北京工业大学;佛山耐信涂层技术有限公司

申请日：2023-11-13

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737681A

主分类号：C23C14/54

分类号：C23C14/54;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：一种航空有机玻璃表面高透明疏水DLC薄膜的制备方法，属于疏水材料的技术制备领域。本发明以高纯碳靶为碳源，高纯CF4气体为氟源，通过反应磁控溅射技术在YB‑3型航空有机玻璃表面低温沉积出厚度约30nm、F原子量约为20％的DLC薄膜，其透光率达90.9％，疏水角达108.6°。本发明薄膜制备工艺易调控，并且可以获得综合性能良好的透明疏水DLC薄膜。

主权项：1.一种航空有机玻璃表面高透明疏水DLC薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1将航空有机玻璃放入乙醇溶液中超声清洗后吹干备用；2将清洗吹干的样品粘贴在基板上，氩气清洗表面，放入镀膜机中；打开分子泵将腔室抽至真空，然后将Ar、CF4气体按比例通入腔室，Ar+离化CF4气体并同时碰撞碳靶，激发产生C+、C++，在样品表面沉积均匀非晶碳膜；3镀膜完成后，释放真空，打开腔室并用去离子水冲洗试样，干燥后得到镀膜样品。

全文数据：

权利要求：

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