申请/专利权人：深圳市光脉电子有限公司

申请日：2024-02-19

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117742089A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;G06F18/214;G06F18/243

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本申请提供了一种光源衰减监测方法、系统、电子设备及存储介质，涉及半导体集成电路制造技术领域。该方法通过获取训练完备的光源衰减预测模型，并实时输入光源设备的运行数据，以获得光源当前的衰减预测值。该预测值可以反映光源衰减状态，并据此计算出光源的剩余使用时长。同时，也可以检测光源的实时功耗。当预测剩余使用时长或检测功耗低于对应预设阈值时，可立即发出预警信号。相较于传统的定期人工测试光源衰减的方式，该光源衰减监测方法通过构建预测模型并实时输入运行数据，实现了对光源衰减的实时连续监测和预警。这样既确保了光源使用质量，也提高了检测效率。

主权项：1.一种光源衰减监测方法，其特征在于，所述方法包括：获取训练完备的光源衰减预测模型；获取光源设备的设备信息和光源设备的运行数据；将所述设备信息和所述运行数据输入所述光源衰减预测模型，得到所述光源设备的衰减预测值；根据所述衰减预测值，确定光源设备的剩余使用时长；当所述剩余使用时长小于预设的阈值时，发出预警信号；获取所述光源设备每次使用时的使用功耗，并基于所述使用功耗和预设的功耗阈值，发出预警信号。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市光脉电子有限公司 一种光源衰减监测方法、系统、电子设备及存储介质

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