申请/专利权人：南方科技大学

申请日：2023-10-25

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737657A

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24;H10K71/16;H10K71/40;H10K85/50;H10K30/50;C23C14/06;C23C14/12;C23C14/58;C23C14/54;C23C14/18

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种气相沉积钙钛矿薄膜的制备方法。其中，钙钛矿薄膜的制备通过连续蒸镀碘化铅薄膜和有机胺盐薄膜，得到复合薄膜；对所述复合薄膜进行湿度处理，得到充分扩散的钙钛矿前驱薄膜；对所述钙钛矿前驱薄膜进行退火处理，得到所述气相沉积钙钛矿薄膜。通过改变所述复合薄膜的组分和厚度、处理的湿度以及退火的温度，形成均匀且高质量的钙钛矿薄膜，改善钙钛矿薄膜的光电性质。该制备方法不仅适用于正反式结构钙钛矿太阳能电池，也适用于以钙钛矿薄膜为活性层的光电器件，如探测器，发光二极管等。

主权项：1.一种气相沉积钙钛矿薄膜的制备方法，其特征在于，包括：将碘化铅或溴化铅在真空条件下沉积到基底上，在所述基底的表面形成无机薄膜；将有机胺盐沉积到所述无机薄膜的表面形成有机薄膜，得到复合薄膜；对所述复合薄膜进行湿度处理，得到钙钛矿前驱薄膜；对所述钙钛矿前驱薄膜进行退火处理，得到所述气相沉积钙钛矿薄膜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南方科技大学 一种气相沉积钙钛矿薄膜的制备方法

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