申请/专利权人：苏州六九新材料科技有限公司

申请日：2023-12-20

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117733152A

主分类号：B22F5/12

分类号：B22F5/12;B22F3/15;B22F3/02;C23C14/35;C23C14/30

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本申请涉及粉末冶金材料的技术领域，具体公开了一种Cr管旋转靶材及其制备方法。本申请公开的Cr管旋转靶材的制备方法，具体包括以下步骤：将Cr原料粉末经过冷压得到致密度为55‑85%的生坯Cr环；将所述生坯Cr环经过脱气处理，然后在装配有TZM芯棒的模具中进行热等静压烧结处理，得到复合坯料；将所述复合坯料去除包套后，进行机加工和清洗，得到所述Cr管旋转靶材。本申请利用上述制备方法，从铬粉原料设计、致密化工艺选择、烧结工装辅具等多个方面进行优化，能获得同时满足高致密度、高纯度、较细小均匀晶粒组织的Cr管旋转靶材。

主权项：1.一种Cr管旋转靶材的制备方法，其特征在于，具体包括以下步骤：将粒度为-300目的Cr原料粉末经过冷压得到致密度为55-85%的生坯Cr环；将所述生坯Cr环经过脱气处理，然后在装配有TZM芯棒的模具中进行热等静压烧结处理，得到复合坯料；将所述复合坯料去除包套后，进行机加工和清洗，得到所述Cr管旋转靶材。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州六九新材料科技有限公司 一种Cr管旋转靶材及其制备方法

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