申请/专利权人：隆基绿能科技股份有限公司

申请日：2022-09-20

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737845A

主分类号：C30B27/02

分类号：C30B27/02;C30B29/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明提供了一种拉晶方法、单晶硅棒和单晶炉，涉及晶体生长技术领域。拉晶方法包括：从调温开始时刻之后至收尾结束时刻的时段内，控制各个时刻，通入单晶炉的第一气体，在结晶界面处的第一压强，与调温开始时刻，通入所述单晶炉的第二气体，在所述结晶界面处的第二压强，两者的差值的绝对值，小于或等于第一预设值。本发明中，在调温开始时刻至收尾结束时刻的时段中，不同时刻对应的结晶界面的压强大致相等，则不同时刻对应的结晶温度大致相等，不同时刻对应的结晶速度大致相等，不同时刻对应的晶棒直径大致相等，使得最终拉制得到的单晶晶棒的直径波动小较小。同时，同一种杂质在晶棒各处的浓度分布大致相等，晶棒质量均匀性较好。

主权项：1.一种拉晶方法，其特征在于，所述方法包括：步骤S，从调温开始时刻之后至收尾结束时刻的时段内，控制各个时刻，通入单晶炉的第一气体，在结晶界面处的第一压强，与调温开始时刻，通入所述单晶炉的第二气体，在所述结晶界面处的第二压强，两者的差值的绝对值，小于或等于第一预设值。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 隆基绿能科技股份有限公司 一种拉晶方法、单晶硅棒和单晶炉

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