申请/专利权人：南京南智先进光电集成技术研究院有限公司

申请日：2023-11-01

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117740733A

主分类号：G01N21/41

分类号：G01N21/41;G01N21/01

优先权：["20230811 CN 2023110117186"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本申请提供一种薄膜铌酸锂电光系数测试方法及系统，所述测试方法包括在薄膜铌酸锂晶体上切取样片，并在样片上制备测试结构，所述测试结构包括至少一个波导和至少两个电极，所述电极用于对所述波导施加电场；向所述波导中耦合光信号，并在所述电极上施加外部电压；调试外部电压，使所述测试结构中电压达到半波电压，并获取在半波电压下所述波导中的电场强度分布和光场强度分布；根据所述电场强度分布和所述光场强度分布计算所述波导中的电光重叠积分因子，并根据所述电光重叠积分因子计算得到所述薄膜铌酸锂晶体的电光系数。本申请通过上述测试方法及系统实现了对不同切向的薄膜铌酸锂的电光系数测试，且极大的提升了电光系数测试测试精度。

主权项：1.一种薄膜铌酸锂电光系数测试方法，其特征在于，所述测试方法包括：在薄膜铌酸锂晶体上切取样片，并在样片上制备测试结构，所述测试结构包括至少一个波导和至少两个电极，所述电极用于对所述波导施加电场；向所述波导中耦合光信号，并在所述电极上施加外部电压；调试外部电压，使所述测试结构中电压达到半波电压，并获取在半波电压下所述波导中的电场强度分布和光场强度分布；根据所述电场强度分布和所述光场强度分布计算所述波导中的电光重叠积分因子，并根据所述电光重叠积分因子计算得到所述薄膜铌酸锂晶体的电光系数。

全文数据：

权利要求：

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