申请/专利权人：浙江大学

申请日：2024-02-27

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117891107A

主分类号：G02F1/21

分类号：G02F1/21;G02F1/225;G02F1/025;G02B6/122;G02B6/124

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开

摘要：本发明公开了一种大光学带宽硅基慢波电光调制器，包括马赫曾德尔调制单元和电极，所述调制单元包括分束器、合束器、调制臂；所述的分束器，用于将待调制光分束；所述调制臂用于调制分束后的待调制光；所述的合束器，用于将调制后的光进行合并；所述调制臂包括平板层和脊波导，所述脊波导是具有布拉格光栅谐振器的光栅慢波波导,所述脊波导的布拉格光栅结构在输入输出端是脊刻蚀宽度渐变的光栅波导输入输出；所述电极结构采用高频GSSG行波电极传输高速射频信号。本发明具有小尺寸、高调制效率、高速等优点。

主权项：1.一种大光学带宽硅基慢波电光调制器，其特征在于，包括马赫曾德尔调制单元和电极，所述调制单元包括分束器、合束器、调制臂；所述的分束器，用于将待调制光分束；所述调制臂用于调制分束后的待调制光；所述的合束器，用于将调制后的光进行合并；所述调制臂包括平板层和脊波导，所述脊波导是具有布拉格光栅谐振器的光栅慢波波导,所述脊波导的布拉格光栅结构在输入输出端是脊刻蚀宽度渐变的光栅波导输入输出；所述电极结构采用高频GSSG行波电极传输高速射频信号。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江大学 一种大光学带宽硅基慢波电光调制器

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