申请/专利权人：中国科学院半导体研究所

申请日：2023-12-21

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117740148A

主分类号：G01J3/02

分类号：G01J3/02;G01J3/18;G01J3/28;G01J3/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：提供一种测量外腔激光器激射光谱的方法，包括：将待测外腔激光器置于具有温控功能的位移台；将交流电流源输出电流加载到激光器上，并将温度控制在设定温度；将激光器发出的光束经聚焦透镜入射至光栅后再反馈至激光器得到输出光束；通过光谱仪探测器接收输出光束进行光谱扫描；将交流电流源的交频参考信号接入锁相放大器的参考信号接口，并将光谱仪探测器的输出信号接入锁相放大器的输入接口；通过位移台微调外腔激光器的位置，使锁相放大器示数最大；利用电控角位移台旋转光栅，使外腔激光器发出的光束到光栅的入射角发生变化；每次旋转电控角位移台之后，控制光谱仪探测器进行光谱扫描并储存数据，最终测得外腔激光器的高精准激射光谱。

主权项：1.一种测量外腔激光器激射光谱的方法，包括：操作S1：将待测外腔激光器置于具有温控功能的位移台；操作S2：将交流电流源输出电流加载到激光器上，并将温度控制在设定温度；操作S3：将激光器发出的光束经聚焦透镜入射至光栅后再反馈至激光器得到输出光束；操作S4：通过光谱仪探测器接收所述输出光束进行光谱扫描；操作S5：将交流电流源的交频参考信号接入锁相放大器的参考信号接口，并将光谱仪探测器的输出信号接入锁相放大器的输入接口；操作S6：通过位移台微调外腔激光器的位置，使锁相放大器示数最大；操作S7：利用电控角位移台旋转光栅，使外腔激光器发出的光束到光栅的入射角按设定角度发生变化；以及操作S8：每次旋转电控角位移台之后，控制光谱仪探测器进行光谱扫描并储存数据，最终测得外腔激光器的高精准激射光谱。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院半导体研究所 测量外腔激光器激射光谱的系统及方法

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