申请/专利权人：西湖大学

申请日：2023-07-12

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117739612A

主分类号：F25D31/00

分类号：F25D31/00;H01J37/26;H01J37/20;F25D17/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本申请涉及无液氦消耗循环制冷系统，该方案包括无液氦制冷机；铜屏蔽管，一端与无液氦制冷机的屏蔽筒连接，另一端设有一级冷头连接件和二级冷头连接件；一级冷屏，通过铜辫子与一级冷头连接件连接，设于μ金属罩外圈；μ金属罩，通过铜辫子与一级冷头连接件连接，并通过一级冷屏铜辫子与一级冷屏连接，且μ金属罩作为固定环与电子显微镜的下极靴真空连接，同时该μ金属罩通过绝热垫片与样品室的Z轴压电陶瓷支架连接；样品座固定件，通过铜辫子与二级冷头连接件连接。本申请可以长时间达到所需求的液氦温区环境，大大地降低了实验成本，减小了机械振动，提高了横向分辨率，实现电子显微镜的超高分辨。

主权项：1.无液氦消耗循环制冷系统，用于对电子显微镜的样品室冷却，包括无液氦制冷机，其特征在于，还包括：铜屏蔽管，一端与所述无液氦制冷机的屏蔽筒连接，另一端设有一级冷头连接件和二级冷头连接件；一级冷屏，通过铜辫子与所述一级冷头连接件连接，设于μ金属罩外圈；μ金属罩，通过铜辫子与所述一级冷头连接件连接，并通过一级冷屏铜辫子与所述一级冷屏连接，且所述μ金属罩作为固定环与所述电子显微镜的下极靴真空连接，同时该μ金属罩通过绝热垫片与所述样品室的Z轴压电陶瓷支架连接；样品座固定件，通过铜辫子与所述二级冷头连接件连接，该样品座固定件用于供所述样品座插入固定，以实现对所述样品座的冷却；其中，所述一级冷头连接件、所述一级冷屏以及所述μ金属罩组成一级低温系统。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西湖大学 无液氦消耗循环制冷系统及液氦温区电子显微镜

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