申请/专利权人：湖南德智新材料有限公司

申请日：2024-01-31

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737686A

主分类号：C23C16/02

分类号：C23C16/02;C23C16/04;C23C16/56;C23C16/52;C04B41/81

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本申请涉及气相沉积技术领域，具体涉及一种石墨产品的膜层制备方法，解决了在气相沉积过程中，较高的温度会导致石墨的晶格结构发生变化，进而导致石墨产品发生变形的问题。石墨产品的膜层制备方法包括：制备第一石墨产品，所述第一石墨产品具有上表面和下表面；在所述第一石墨产品的上表面制备应力释放槽，得到第二石墨产品；对所述第二石墨产品进行膜层沉积，得到第三石墨产品；对所述第三石墨产品的上表面进行第二材料去除处理，得到第四石墨产品，其中，所述第四石墨产品的上表面不具有所述应力释放槽。通过在第一石墨产品的上表面制备应力释放槽，可以在膜层沉积的过程中，减少应力集中，从而减小第二石墨产品在膜层沉积过程的形变。

主权项：1.一种石墨产品的膜层制备方法，其特征在于，应用于对石墨基材的部分区域进行膜层沉积的工艺；所述石墨产品的膜层制备方法包括：制备第一石墨产品，所述第一石墨产品具有上表面和下表面；在所述第一石墨产品的上表面制备应力释放槽，得到第二石墨产品，其中，所述应力释放槽的水平截面形状包括环形和三角形；对所述第二石墨产品进行膜层沉积，得到第三石墨产品；对所述第三石墨产品的上表面进行第二材料去除处理，得到第四石墨产品，其中，所述第四石墨产品的上表面不具有所述应力释放槽。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 湖南德智新材料有限公司 石墨产品的膜层制备方法

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