申请/专利权人：湖南德智新材料有限公司

申请日：2024-02-01

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117738885A

主分类号：F04B39/06

分类号：F04B39/06;C23C16/44

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本申请涉及沉积设备技术领域，具体涉及一种真空泵冷却装置和沉积系统。该沉积系统包括沉积设备、真空泵、液氮气化装置、液氮罐和真空泵冷却装置。该真空泵冷却装置包括：冷却组件、热供应组件和热交换器。冷却组件与真空泵相邻设置，被配置为吸收真空泵的热量，冷却组件与热交换器连通，以将热量从冷却组件传递至热交换器。热供应组件与液氮气化装置相邻设置，为液氮气化装置提供热量，热供应组件与热交换器连通，以将热量从热交换器传递至热供应组件。热供应组件可以持续吸收热交换器的热量，使热交换器可以持续吸收冷却组件的热量，进而使冷却组件可以持续对真空泵进行降温，提高了真空泵冷却装置的降温效果，满足了对真空泵长时间降温的需求。

主权项：1.一种真空泵冷却装置，其特征在于，被配置为对真空泵进行冷却，所述真空泵与沉积设备的真空腔室连接，以调节所述真空腔室的压强，所述沉积设备与液氮气化装置连接，所述液氮气化装置与液氮罐连接，所述液氮罐被配置为存储液氮，所述液氮气化装置被配置为对所述液氮进行气化以生成氮气，并将生成的氮气输送至所述沉积设备；其中，所述真空泵冷却装置包括：冷却组件，与所述真空泵相邻设置，被配置为吸收所述真空泵的热量，所述冷却组件与热交换器连通，以将热量从所述冷却组件传递至所述热交换器；热供应组件，与所述液氮气化装置相邻设置，为所述液氮气化装置提供热量，所述热供应组件与所述热交换器连通，以将热量从所述热交换器传递至所述热供应组件；所述热交换器，接收所述冷却组件传递的热量，并将该热量传递至所述热供应组件；其中，所述热交换器包括相邻设置的热源腔室和冷源腔室，所述热源腔室的温度大于所述冷源腔室的温度；其中，所述热供应组件包括：热供应容器，与所述液氮气化装置相邻设置，为所述液氮气化装置提供热量；第一连接管路，一端与所述热供应容器的出口连接，另一端与所述冷源腔室的入口连接；第二连接管路，一端与所述热供应容器的入口连接，另一端与所述冷源腔室的出口连接；其中，所述冷却组件包括：冷却室，与所述真空泵相邻设置，被配置为对所述真空泵进行降温；第三连接管路，一端与所述冷却室的出口连接，另一端与所述热源腔室的入口连接；第四连接管路，一端与所述冷却室的入口连接，另一端与所述热源腔室的出口连接。

全文数据：

权利要求：

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