申请/专利权人：江西乾照光电有限公司

申请日：2023-12-21

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737838A

主分类号：C30B25/02

分类号：C30B25/02;C30B25/16

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本申请实施例公开了一种金属有机物化学气相沉积设备的复机方法，包括：对所述金属有机物化学气相沉积设备的反应腔进行第一预处理，以对所述反应腔内的杂质进行清扫；向所述反应腔内通入铝源，对所述反应腔进行第二预处理，并在所述反应腔的内壁形成环境恢复层，所述环境恢复层包括镁离子和铝离子；在所述环境恢复层表面形成覆盖层，所述覆盖层包括镁离子和镓离子。该复机方法大大缩短了所述复机方法所需总时长，从而显著提高了所述金属有机物化学气相沉积设备的生产稼动率。

主权项：1.一种金属有机物化学气相沉积设备的复机方法，其特征在于，包括：对所述金属有机物化学气相沉积设备的反应腔进行第一预处理，以对所述反应腔内的杂质进行清扫；向所述反应腔内通入铝源，对所述反应腔进行第二预处理，并在所述反应腔内壁形成环境恢复层，所述环境恢复层包括镁离子和铝离子；在所述环境恢复层表面形成覆盖层，所述覆盖层包括镁离子和镓离子。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江西乾照光电有限公司 一种金属有机物化学气相沉积设备的复机方法

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