申请/专利权人：三星显示有限公司

申请日：2023-08-15

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117740327A

主分类号：G01M11/02

分类号：G01M11/02

优先权：["20220920 KR 10-2022-0118486"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.22#公开

摘要：提供了一种激光检查系统和使用该激光检查系统的激光检查方法。激光检查系统包括：平台，包括平行于由第一方向和与第一方向交叉的第二方向定义的平面的顶表面；第一激光单元，在垂直于平面的第三方向上与平台间隔开，其中，第一激光单元发射在平行于平面的方向上行进的第一激光束；第二激光单元，在第三方向上与第一激光单元间隔开，其中，第二激光单元发射在平行于第一激光束的行进方向的方向上行进的第二激光束；以及检查对象，在平台的顶表面上在第一方向上与第一激光单元间隔开，其中，检查对象具有在第三方向上距平台的顶表面的最大可允许规格和最小可允许规格。

主权项：1.一种激光检查系统，所述激光检查系统包括：平台，包括平行于由第一方向和与所述第一方向交叉的第二方向定义的平面的顶表面；第一激光单元，在垂直于所述平面的第三方向上与所述平台间隔开，其中，所述第一激光单元发射在平行于所述平面的方向上行进的第一激光束；第二激光单元，在从所述平台指向所述第一激光单元的所述第三方向上与所述第一激光单元间隔开，其中，所述第二激光单元发射在平行于所述第一激光束的行进方向的方向上行进的第二激光束；以及检查对象，在所述平台的所述顶表面上在所述第一方向上与所述第一激光单元间隔开，其中，所述检查对象具有在所述第三方向上距所述平台的所述顶表面的最大可允许规格和最小可允许规格。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星显示有限公司 激光检查系统和使用该激光检查系统的激光检查方法

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