申请/专利权人:优志旺电机株式会社
申请日:2023-09-15
公开(公告)日:2024-03-22
公开(公告)号:CN117747408A
主分类号:H01J65/04
分类号:H01J65/04;H01J61/073
优先权:["20220921 JP 2022-150071"]
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.03.22#公开
摘要:提供一种准分子灯,能够抑制发光效率的下降,并且抑制发光空间的外侧的沿面放电的产生。其特征在于,具备:发光管,包括在管轴方向上延伸的外侧管和在所述外侧管的内侧以在所述管轴方向上延伸的方式配置的内侧管,所述外侧管和所述内侧管在所述管轴方向上的端部处被密封;发光气体,封入于由所述外侧管和所述内侧管夹着的发光空间;外侧电极,配置于所述外侧管的外壁面上的外侧电极区域;及内侧电极,配置于所述内侧管的内壁面上的内侧电极区域,所述内侧电极区域在与所述管轴方向正交的方向上与所述外侧电极区域对向,所述外侧电极区域的所述管轴方向上的两端位于在所述管轴方向上比所述内侧电极区域和所述外侧电极区域对向的区域靠外侧处。
主权项:1.一种准分子灯,其特征在于,具备:发光管,包括在管轴方向上延伸的外侧管和在所述外侧管的内侧以在所述管轴方向上延伸的方式配置的内侧管,所述外侧管和所述内侧管在所述管轴方向上的端部处被密封;发光气体,封入于由所述外侧管和所述内侧管夹着的发光空间;外侧电极,配置于所述外侧管的外壁面上的外侧电极区域;及内侧电极,配置于所述内侧管的内壁面上的内侧电极区域,所述内侧电极区域在与所述管轴方向正交的方向上与所述外侧电极区域对向,所述外侧电极区域的所述管轴方向上的两端位于在所述管轴方向上比所述内侧电极区域和所述外侧电极区域对向的区域靠外侧处。
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