申请/专利权人：中国电子科技集团公司第五十五研究所

申请日：2023-12-26

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117748076A

主分类号：H01P1/36

分类号：H01P1/36;H01P1/38

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种高可靠性的磁增强小型化环隔器，其中磁屏蔽罩的内侧设置凹槽，永磁体的一端嵌合在该凹槽内，永磁体的另一端与上层介质基板的一侧连接；上层介质基板的另一端制备金属线路层，金属线路层和下层介质基板晶圆级键合；下层介质基板上设置通孔，通孔内设置旋磁铁氧体磁芯，旋磁铁氧体磁芯的底部通过金属地层和导磁材料封装。本发明方案在兼容半导体工艺的MEMS环行器隔离器环隔组件的基础上，通过添加磁屏蔽结构的方式从而减小内外磁场间的影响，在一定程度上可以增强内部磁场，带来降低所需永磁体的磁场强度要求，减小器件的整体高度，同时磁屏蔽结构上的凹槽可以限定永磁体的位置，是一种高可靠性的装配方式，提高了批产的成品率。

主权项：1.一种高可靠性的磁增强小型化环隔器，其特征在于，包括磁屏蔽罩101、永磁体103、上层介质基板104、金属线路层105、下层介质基板106、旋磁铁氧体磁芯107、金属地层108和导磁材料109；所述磁屏蔽罩101的内侧设置凹槽，所述永磁体103的一端嵌合在该凹槽内，永磁体103的另一端与上层介质基板104的一侧连接；所述上层介质基板104的另一端制备金属线路层105，金属线路层105和下层介质基板106晶圆级键合；所述下层介质基板106上设置通孔，通孔内设置旋磁铁氧体磁芯107，同时，旋磁铁氧体磁芯107的底部通过金属地层108和导磁材料109封装。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国电子科技集团公司第五十五研究所 一种高可靠性的磁增强小型化环隔器

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