申请/专利权人：成川科技(苏州)有限公司

申请日：2024-01-09

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117747514A

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明涉及天车搬运技术领域，公开一种天车搬运方法、系统和介质，包括：第一天车获取搬运指令，执行将第一晶圆盒搬运至目标设备的任务；在第一天车搬运第一晶圆盒至目标设备的过程中，判断第一晶圆盒到达目标设备时目标设备上是否有第二晶圆盒，若有则进行组合搬运；否则，第一天车将第一晶圆盒放置到目标设备上；组合搬运的过程为：将第一晶圆盒搬运到第一暂存位置处，将第二晶圆盒从目标设备搬运到第二暂存位置处，将第一暂存位置处的第一晶圆盒搬运到目标设备上，将第二暂存位置处的第二晶圆盒搬离，第一暂存位置和第二暂存位置位于天车运行轨道的周围。本发明可以减少等待时间，仅使用一台天车即可完成上下货，提升天车搬运效率。

主权项：1.一种天车搬运方法，其特征在于，包括：第一天车获取搬运指令，执行将第一晶圆盒搬运至目标设备的任务；在所述第一天车搬运所述第一晶圆盒至目标设备的过程中，判断所述第一晶圆盒到达所述目标设备时所述目标设备上是否有第二晶圆盒，若有，则进行组合搬运；否则，所述第一天车将所述第一晶圆盒放置到目标设备上；所述组合搬运的过程为：S10：将所述第一晶圆盒搬运到第一暂存位置处；S20：将第二晶圆盒从所述目标设备搬运到第二暂存位置处；S30：将所述第一暂存位置处的所述第一晶圆盒搬运到目标设备上；S40：将所述第二暂存位置处的所述第二晶圆盒搬离；其中，所述第一暂存位置和第二暂存位置位于天车运行轨道的周围。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 成川科技(苏州)有限公司 天车搬运方法、系统和介质

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD