申请/专利权人：罗姆股份有限公司

申请日：2023-08-17

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117735475A

主分类号：B81B7/02

分类号：B81B7/02;B81B7/00;B81C1/00

优先权：["20220920 JP 2022-149346"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.22#公开

摘要：本发明涉及一种MEMS装置及其制造方法。本发明提供一种既确保了隔离接头的绝缘性，又防止了隔离接头与空腔底部的接触的MEMS装置。本发明的具备活动部的MEMS装置包含：衬底；凹部，设置在衬底上；活动部，中空地支持在凹部内；以及隔离接头，插入到活动部的规定位置，在其两侧将活动部电绝缘；且凹部的底部与活动部的最短距离小于凹部的底部与隔离接头的距离。与隔离接头相邻的活动部的深度小于隔离接头的深度。活动部包含具有深度的部分，所述深度比隔离接头的深度深。

主权项：1.一种MEMS装置，具备活动部，且包含：衬底；所述凹部，设置在衬底上；所述活动部，中空地支持在凹部内；以及隔离接头，插入到所述活动部的规定位置，在其两侧将所述活动部电绝缘；且所述凹部的底部与所述活动部的最短距离小于所述凹部的底部与所述隔离接头的距离。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 罗姆股份有限公司 MEMS装置及其制造方法

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