申请/专利权人:合肥芯碁微电子装备股份有限公司
申请日:2023-12-28
公开(公告)日:2024-03-22
公开(公告)号:CN117747711A
主分类号:H01L31/18
分类号:H01L31/18;H01L31/0224
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开
摘要:本发明公开了光伏电池栅线制备方法和光伏电池片,所述伏电池栅线制备方法包括:提供基板;在所述基板上制备掩膜并烘干,所述掩膜的厚度在10um‑15um之间;对带有所述掩膜并烘干后的基板进行曝光,静置预设时间之后将所述基板进行显影;采用电镀在显影后的所述基板上制备铜栅线,其中,所述铜栅线的高度在8um‑15um之间;去除电镀处理后的所述基板上的所述掩膜。采用该方法可以用铜栅线作为电池栅线,栅线宽度较窄并且掩膜的厚度适中,可以降低光伏电池栅线制备成本,保证发电效率。
主权项:1.一种光伏电池栅线制备方法,其特征在于,包括:提供基板;在所述基板上制备掩膜并烘干,所述掩膜的厚度在10um-15um之间;对带有所述掩膜并烘干后的基板进行曝光,静置预设时间之后将所述基板进行显影;采用电镀在显影后的所述基板上制备铜栅线,其中,所述铜栅线的高度在8um-15um之间;去除电镀处理后的所述基板上的所述掩膜。
全文数据:
权利要求:
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