申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2023-09-20

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117732765A

主分类号：B08B1/12

分类号：B08B1/12;B08B1/36;B08B11/02;B08B11/00

优先权：["20220921 JP 2022-150758"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明提供一种下表面刷、刷单元及基板清洗装置。下表面刷在基板的下表面的清洗中使用，包括基台部、第1清洗部及第2清洗部。基台部具有上表面，且构成为能够以预先确定的中心点为中心旋转。第1清洗部从基台部的上表面向上方突出，且向一个方向延伸。第2清洗部从基台部的上表面向上方突出，且在俯视观察时配置在将第1清洗部的在一个方向上的一端部和基台部的中心点连结的路径上。

主权项：1.一种下表面刷，在基板的下表面的清洗中使用，其特征在于，具备：基台部，其具有上表面，且构成为能够以预先确定的中心点为中心旋转；第1清洗部，其从所述基台部的所述上表面向上方突出，且向一个方向延伸；和第2清洗部，其从所述基台部的所述上表面向上方突出，且在俯视观察时配置在将所述第1清洗部的在所述一个方向上的一端部和所述基台部的所述中心点连结的路径上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 下表面刷、刷单元及基板清洗装置

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