申请/专利权人：细美事有限公司

申请日：2023-09-27

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN117917756A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：["20221021 KR 10-2022-0136609"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.23#公开

摘要：根据本发明的一方面的基板处理装置包括：支承板，支承基板，并且设置有用于加热基板的加热器构件；以及冷却单元，用于强制冷却支承板，其中，冷却单元包括：冷却壳体，提供冷却空间；多个气体供给喷嘴，布置在冷却壳体中，并且朝向加热器构件供应冷却气体；以及多个气体供给线，直接连接到气体供给喷嘴，并且将从外部传递的冷却气体供应到气体供给喷嘴。

主权项：1.一种基板处理装置，包括：支承板，支承基板，并且包括加热所述基板的加热器构件；以及冷却单元，强制冷却所述支承板，其中，所述冷却单元包括：冷却壳体，提供冷却空间；多个气体供给喷嘴，设置在所述冷却壳体中，并且朝向所述加热器构件供给冷却气体；以及多个气体供给线，直接连接到所述气体供给喷嘴，以将从外部传递的所述冷却气体供应到所述气体供给喷嘴。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 细美事有限公司 基板处理装置和用于提高基板的冷却效率的方法

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