申请/专利权人：浙江启尔机电技术有限公司

申请日：2020-12-25

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117742084A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明涉及一种改善浸没流场压力特性的浸液供给回收装置。本发明具有设置于浸液供给回收装置顶面的顶部槽，环绕面与物镜侧面之间的间隙与顶部槽相通，顶部槽与物镜侧面相对地设置槽外侧面，槽外侧面相比环绕面距离物镜侧面更远。本发明环绕面距离物镜侧面的宽度在周向上是变化的，使所述环绕面距离物镜侧面在衬底运动方向的两端比其他周向位置更远，从而使浸液供给回收装置与末端物镜之间的局部间隙容积增加，使得浸没液体局部堆积或减少时引起顶部液面的升降高度减小，实现抑制浸没流场压力波动和顶部液面晃荡的幅度，从而使浸没流场的压力更稳定，保证浸没流场的光学性质稳定，保证曝光质量。

主权项：1.一种改善浸没流场压力特性的浸液供给回收装置，其特征在于：具有环绕物镜侧面的环绕面，环绕面与物镜侧面形成间隙，于环绕面的水平截面上相对的两端设置浸液供给开口和浸液抽排开口；还具有设置于浸液供给回收装置顶面的顶部槽，环绕面与物镜侧面之间的间隙与顶部槽相通，顶部槽与物镜侧面相对地设置槽外侧面，槽外侧面相比环绕面距离物镜侧面更远。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江启尔机电技术有限公司 一种改善浸没流场压力特性的浸液供给回收装置

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