申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2022-10-21

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117751439A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;C23C16/44;G05B19/418

优先权：["20211109 US 17/522,634"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.22#公开

摘要：提供了用于清洁进程列管理的方法和系统。从客户端装置接收与制造系统处的基板工艺相关联的清洁操作序列的指示。也接收在制造系统的工艺腔室处的清洁处理期间触发清洁操作序列的启动的一个或多个清洁标准的指示。产生对应于清洁操作序列的一组指令。回应于侦测到满足该一个或多个清洁标准中的至少一者，执行所产生的该组指令，以启动该工艺腔室处的该清洁操作序列。

主权项：1.一种方法，包括以下步骤：从耦接至制造系统的客户端装置接收与该制造系统处的多个基板工艺中的至少一者相关联的清洁操作序列的指示，以及在该制造系统的工艺腔室处的清洁处理期间触发该清洁操作序列的启动的一个或多个清洁标准的指示；产生对应于该清洁操作序列的一组指令；和回应于侦测到满足该一个或多个清洁标准中的至少一者，执行所产生的该组指令，以启动该工艺腔室处的该清洁操作序列。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 用于清洁进程列管理的方法和系统

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