申请/专利权人：天长市百盛半导体科技有限公司

申请日：2018-07-06

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN109065472B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/673;H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2019.05.17#实质审查的生效;2018.12.21#公开

摘要：本发明公开了一种太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置，包括：框架和空气压缩机构，其中：框架包括底板和相对布置在底板两侧的第一侧板、第二侧板；底板为镂空结构，底板设有多个，各底板沿其高度方向分层布置，且每一层底板的上板面上均设有多个由第一侧板向第二侧板方向间距布置并在任意相邻的两个隔板之间形成卡槽的隔板，各隔板的内部均具有第一夹腔和第二夹腔，且任意一个隔板上均设有与其第一夹腔连通的第一通孔和与第二夹腔连通的第二通孔；空气压缩机构通过输气管路分别向各第一夹腔、第二夹腔内输送高压空气。本发明可以有效提高工件的清洗效果。

主权项：1.一种太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置，其特征在于，包括：框架和空气压缩机构（1），其中：框架包括底板（2）和相对布置在底板（2）两侧并与底板（2）固定连接的第一侧板（3）、第二侧板（4）；底板（2）为镂空结构，底板（2）设有多个，各底板（2）在第一侧板（3）和第二侧板（4）之间沿其高度方向分层布置，且每一层底板（2）的上板面上均设有多个与其固定装配的隔板（5）；各隔板（5）由第一侧板（3）向第二侧板（4）方向间距布置并在任意相邻的两个隔板（5）之间形成供工件放入的卡槽，各隔板（5）的内部均具有第一夹腔（a）和位于第一夹腔（a）靠近第二侧板（4）一侧的第二夹腔（b），且任意一个隔板（5）上均设有与第一夹腔（a）连通的第一进气口和与第二夹腔（b）连通的第二进气口，任意一个隔板（5）靠近第一侧板（3）的一侧均设有至少一个与其第一夹腔（a）连通的第一通孔（c），任意一个隔板（5）靠近第二侧板（4）的一侧均设有至少一个与其第二夹腔（b）连通的第二通孔（d）；空气压缩机构（1）通过输气管路分别与各隔板（5）上的第一进气口和第二进气口连接以用于向各第一夹腔（a）、第二夹腔（b）内输送高压空气；先将待清洗的工件分别放置到框架内部的各卡槽内，并将该框架沉入清洗槽，然后利用卡槽两侧隔板（5）上第一孔道、第二孔道吹出的气流使该卡槽内的工件处于竖立状，从而使得工件在清洗过程中除底部与底板（2）接触外其他各部位均处于悬空状态；第一侧板（3）内部设有输气通道；输气管路包括主管（6）和支管（7），所述主管（6）的一端与空气压缩机构（1）连接，其另一端与所述输送通道连接；所述支管（7）位于各隔板（5）的一侧并由第一侧板（3）向第二侧板（4）方向直线延伸，且支管（7）与所述输气通道连接；所述各隔板（5）的第一进气口、第二进气口均分别与支管（7）连接；第二侧板（4）内部设有输气通道；输气管路包括主管（6）和支管（7），所述主管（6）的一端与空气压缩机构（1）连接，其另一端与所述输送通道连接；所述支管（7）位于各隔板（5）的一侧并由第一侧板（3）向第二侧板（4）方向直线延伸，且支管（7）与所述输气通道连接；所述各隔板（5）的第一进气口、第二进气口均分别与支管（7）连接。

全文数据：一种太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置技术领域本发明涉及单晶硅片生产制造技术领域，尤其涉及一种太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置。背景技术单晶硅片在生产打磨好后需要清洗表面的污垢，现有的清洗设备比较传统，就是将单晶硅片放入放入水槽中冲洗。这样方式洗得很不干净，而且由于单晶硅片比较薄，很多都重叠在一起，容易造成清洗死角。发明内容基于上述背景技术存在的技术问题，本发明提出一种太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置。本发明提出了一种太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置，包括：框架和空气压缩机构，其中：框架包括底板和相对布置在底板两侧并与底板固定连接的第一侧板、第二侧板；底板为镂空结构，底板设有多个，各底板在第一侧板和第二侧板之间沿其高度方向分层布置，且每一层底板的上板面上均设有多个与其固定装配的隔板；各隔板由第一侧板向第二侧板方向间距布置并在任意相邻的两个隔板之间形成供工件放入的卡槽，各隔板的内部均具有第一夹腔和位于第一夹腔靠近第二侧板一侧的第二夹腔，且任意一个隔板上均设有与第一夹腔连通的第一进气口和与第二夹腔连通的第二进气口，任意一个隔板靠近第一侧板的一侧均设有至少一个与其第一夹腔连通的第一通孔，任意一个隔板靠近第二侧板的一侧均设有至少一个与其第二夹腔连通的第二通孔；空气压缩机构通过输气管路分别与各隔板上的第一进气口和第二进气口连接以用于向各第一夹腔、第二夹腔内输送高压空气。优选地，第一侧板内部设有输气通道；输气管路包括主管和支管，所述主管的一端与空气压缩机构连接，其另一端与所述输送通道连接；所述支管位于各隔板的一侧并由第一侧板向第二侧板方向直线延伸，且支管与所述输气通道连接；所述各隔板的第一进气口、第二进气口均分别与支管连接。优选地，第二侧板内部设有输气通道；输气管路包括主管和支管，所述主管的一端与空气压缩机构连接，其另一端与所述输送通道连接；所述支管位于各隔板的一侧并由第一侧板向第二侧板方向直线延伸，且支管与所述输气通道连接；所述各隔板的第一进气口、第二进气口均分别与支管连接。优选地，任意一个第一进气口、第二进气口与支管之间均设有可自动控制其开合度的控制阀。优选地，卡槽的两端均设有与底板固定的挡板，且挡板为镂空结构。优选地，卡槽内部设有多个与底板固定的挡板，各挡板均为镂空结构，且各挡板在卡槽内部由其一端向其另一端间距布置以将卡槽分隔成多个槽腔。优选地，各隔板靠近第一侧板的一侧且位于任意一个槽腔处均设有第一通孔，各隔板靠近第二侧板的一侧且位于任意一个槽腔处均设有第二通孔。本发明中，通过对框架的结构进行设置，使其具有多层底板，并在每层底板的上板面上设置隔板，以利用隔板在各底板的上方形成多个卡槽；同时，通过在隔板内部设置第一夹腔和第二夹腔，在隔板的侧壁上设置与第一夹腔连通的第一通孔和与第二夹腔连通的第二通孔，并利用空气压缩机构分别向各第一夹腔、第二夹腔内部输送高压空气；使用时，将待清洗的工件分别放置到框架内部的各卡槽内，并将该框架沉入清洗槽，然后利用卡槽两侧隔板上第一孔道、第二孔道吹出的气流使该卡槽内的工件处于竖立状，从而使得工件在清洗过程中除底部与底板接触外其他各部位均处于悬空状态，且清洗槽内的水流在气流的作用下不断对工件形成冲刷，进而可以有效提高工件的清洗效果。附图说明图1为本发明提出的一种太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置的结构示意图；图2为本发明提出的一种太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置中所述隔板的结构示意图。具体实施方式下面，通过具体实施例对本发明的技术方案进行详细说明。如图1-2所示，图1为本发明提出的一种太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置的结构示意图；图2为本发明提出的一种太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置中所述隔板的结构示意图。参照图1-2，本发明实施例提出的一种太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置，包括：框架和空气压缩机构1，其中：框架包括底板2和相对布置在底板2两侧并与底板2固定连接的第一侧板3、第二侧板4。底板2为镂空结构，底板2设有多个，各底板2在第一侧板3和第二侧板4之间沿其高度方向分层布置，且每一层底板2的上板面上均设有多个与其固定装配的隔板5；各隔板5由第一侧板3向第二侧板4方向间距布置并在任意相邻的两个隔板5之间形成供工件放入的卡槽，各隔板5的内部均具有第一夹腔a和位于第一夹腔a靠近第二侧板4一侧的第二夹腔b，且任意一个隔板5上均设有与第一夹腔a连通的第一进气口和与第二夹腔b连通的第二进气口，任意一个隔板5靠近第一侧板3的一侧均设有至少一个与其第一夹腔a连通的第一通孔c，任意一个隔板5靠近第二侧板4的一侧均设有至少一个与其第二夹腔b连通的第二通孔d。空气压缩机构1通过输气管路分别与各隔板5上的第一进气口和第二进气口连接以用于向各第一夹腔a、第二夹腔b内输送高压空气。本发明是这样使用的：先将待清洗的工件分别放置到框架内部的各卡槽内，并将该框架沉入清洗槽，然后利用卡槽两侧隔板5上第一孔道、第二孔道吹出的气流使该卡槽内的工件处于竖立状，从而使得工件在清洗过程中除底部与底板2接触外其他各部位均处于悬空状态，且清洗槽内的水流在气流的作用下不断对工件形成冲刷，进而可以有效提高工件的清洗效果。此外，本实施例中，第一侧板3或第二侧板4内部设有输气通道；输气管路包括主管6和支管7，所述主管6的一端与空气压缩机构1连接，其另一端与所述输送通道连接；所述支管7位于各隔板5的一侧并由第一侧板3向第二侧板4方向直线延伸，且支管7与所述输气通道连接；所述各隔板5的第一进气口、第二进气口均分别与支管7连接。该结构的设置不仅可以有效提高框架外观的整洁美观性，同时可以避免管路过多，加大检修难度。本实施例中，任意一个第一进气口、第二进气口与支管7之间均设有可自动控制其开合度的控制阀，以通过调整控制阀的开合度大小，控制相应夹腔的进气量，从而调整相应通孔的出气强度，以确保工件在清洗过程中始终处于竖立状态。本实施例中，卡槽的两端均设有与底板2固定的挡板8，且挡板8为镂空结构，以利用挡板8避免卡槽内的工件从卡槽的两端滑出。本实施例中，卡槽内部设有多个与底板2固定的挡板8，各挡板8均为镂空结构，且各挡板8在卡槽内部由其一端向其另一端间距布置以将卡槽分隔成多个槽腔；各隔板5靠近第一侧板3的一侧且位于任意一个槽腔处均设有第一通孔c，各隔板5靠近第二侧板4的一侧且位于任意一个槽腔处均设有第二通孔d。该结构的设置可以有效提高工件的放入量。以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

权利要求：1.一种太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置，其特征在于，包括：框架和空气压缩机构1，其中：框架包括底板2和相对布置在底板2两侧并与底板2固定连接的第一侧板3、第二侧板4；底板2为镂空结构，底板2设有多个，各底板2在第一侧板3和第二侧板4之间沿其高度方向分层布置，且每一层底板2的上板面上均设有多个与其固定装配的隔板5；各隔板5由第一侧板3向第二侧板4方向间距布置并在任意相邻的两个隔板5之间形成供工件放入的卡槽，各隔板5的内部均具有第一夹腔a和位于第一夹腔a靠近第二侧板4一侧的第二夹腔b，且任意一个隔板5上均设有与第一夹腔a连通的第一进气口和与第二夹腔b连通的第二进气口，任意一个隔板5靠近第一侧板3的一侧均设有至少一个与其第一夹腔a连通的第一通孔c，任意一个隔板5靠近第二侧板4的一侧均设有至少一个与其第二夹腔b连通的第二通孔d；空气压缩机构1通过输气管路分别与各隔板5上的第一进气口和第二进气口连接以用于向各第一夹腔a、第二夹腔b内输送高压空气。2.根据权利要求1所述的太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置，其特征在于，第一侧板3内部设有输气通道；输气管路包括主管6和支管7，所述主管6的一端与空气压缩机构1连接，其另一端与所述输送通道连接；所述支管7位于各隔板5的一侧并由第一侧板3向第二侧板4方向直线延伸，且支管7与所述输气通道连接；所述各隔板5的第一进气口、第二进气口均分别与支管7连接。3.根据权利要求1所述的太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置，其特征在于，第二侧板4内部设有输气通道；输气管路包括主管6和支管7，所述主管6的一端与空气压缩机构1连接，其另一端与所述输送通道连接；所述支管7位于各隔板5的一侧并由第一侧板3向第二侧板4方向直线延伸，且支管7与所述输气通道连接；所述各隔板5的第一进气口、第二进气口均分别与支管7连接。4.根据权利要求2或3所述的太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置，其特征在于，任意一个第一进气口、第二进气口与支管7之间均设有可自动控制其开合度的控制阀。5.根据权利要求1所述的太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置，其特征在于，卡槽的两端均设有与底板2固定的挡板8，且挡板8为镂空结构。6.根据权利要求1所述的太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置，其特征在于，卡槽内部设有多个与底板2固定的挡板8，各挡板8均为镂空结构，且各挡板8在卡槽内部由其一端向其另一端间距布置以将卡槽分隔成多个槽腔。7.根据权利要求6所述的太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置，其特征在于，各隔板5靠近第一侧板3的一侧且位于任意一个槽腔处均设有第一通孔c，各隔板5靠近第二侧板4的一侧且位于任意一个槽腔处均设有第二通孔d。

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