申请/专利权人：浙江科技学院

申请日：2020-12-15

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN112630181B

主分类号：G01N21/33

分类号：G01N21/33

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要：本发明公开了一种紫外光激发的纳米纤维素柔性气敏传感器的制备方法，包括以下步骤：S1、将半导体纳米颗粒加入纳米纤维素悬浮液，超声混合5‑10min，形成混合悬浮液；混合悬浮液中的半导体纳米颗粒与纳米纤维素固含量的质量比1：10‑100，半导体纳米颗粒的禁带宽度范围为3.1eV‑6.2eV；S2、采用0.05‑0.2μm微孔滤膜进行真空抽滤，先加入0.5‑2份混合悬浮液进行真空抽滤，再加入10‑20份的混合悬浮液进行真空抽滤得到中间体，再将中间体放入烘箱中以50‑70℃加压干燥2‑5h，得到纳米复合膜；S3、利用真空离子溅射法在纳米复合膜表面将金材料制成叉指电极，并引入引脚制得气敏传感器。本发明可以形成一体化柔性纳米复合膜，保证了气敏传感器的性能同时延长了使用寿命。

主权项：1.一种紫外光激发的纳米纤维素柔性气敏传感器的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、将半导体纳米颗粒加入浓度为1-3wt％的纳米纤维素悬浮液中，超声混合5-10min，形成混合悬浮液；其中混合悬浮液中的半导体纳米颗粒与纳米纤维素固含量的质量比1：10-100，半导体纳米颗粒的禁带宽度范围为3.1eV-6.2eV；S2、采用0.05-0.2μm微孔滤膜进行真空抽滤，先加入0.5-2份混合悬浮液进行真空抽滤，形成一层纳米纤维素薄膜，防止半导体纳米颗粒穿透微孔滤膜，再加入10-20份的混合悬浮液进行真空抽滤得到中间体，再将中间体放入烘箱中以50-70℃加压干燥2-5h，得到纳米复合膜；S3、利用真空离子溅射法在纳米复合膜表面将金材料制成叉指电极，并引入引脚制得气敏传感器。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江科技学院 一种紫外光激发的纳米纤维素柔性气敏传感器的制备方法

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