申请/专利权人：株式会社爱发科

申请日：2021-05-17

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN113755786B

主分类号：C23C8/20

分类号：C23C8/20;C23C16/44

优先权：["20200601 JP 2020-095170"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2021.12.24#实质审查的生效;2021.12.07#公开

摘要：本发明提供一种电热丝的制造方法及制造装置，能够在电热丝的表面均匀地形成碳化钽。本发明的一个方式涉及的电热丝的制造方法包括：向设置有钽丝的腔室导入甲烷气体，上述钽丝具有两端部，并以在垂直方向上折回的方式悬挂；以及向上述钽丝供给交流电而使其发热，对上述钽丝的表面进行碳化处理。

主权项：1.一种电热丝的制造方法，所述电热丝作为催化化学气相沉积装置中的催化剂丝来使用，所述电热丝的制造方法包括：向设置有由金属钽构成的钽丝的腔室导入甲烷气体，所述钽丝具有两端部，并以在垂直方向上折回的方式被悬挂；以及向所述钽丝供给交流电流值为10A～60A的交流电而使其发热，对所述钽丝的表面进行碳化处理，从而制造出具有由所述金属钽构成的芯部和由碳化钽构成且包覆所述芯部的周缘部的所述电热丝，所述电热丝的长度是2m以上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社爱发科 电热丝的制造方法及制造装置

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