申请/专利权人：广东鼎泰高科技术股份有限公司

申请日：2022-02-28

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN114574807B

主分类号：C23C14/22

分类号：C23C14/22;C23C14/48

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2022.06.21#实质审查的生效;2022.06.03#公开

摘要：本发明公开了一种等离子体传输装置，包括传输管道和偏压供电装置，等离子体从传输管道的入口端进入传输管道并从传输管道的出口端输出，传输管道包括至少两个沿其周向间隔分布的电极板；偏压供电装置用于对各电极板进行偏压供电并切换各电极板的供电状态以使传输管道的等离子体在向外运动和向内运动之间来回改变，从而防止传输管道的等离子体中的负电粒子始终向外运动撞击挂壁使管壁呈负电而破坏管壁的导电性，进而提高传输管道的传输性能的稳定性。由于传输管道的等离子体在轴壁间来回运动使等离子体之间相互碰撞，提高等离子体的离化效率。此外，通过偏压供电装置对各电极板供电，结构简单，能够有效降低等离子体传输装置的成本。

主权项：1.一种等离子体传输装置，其特征在于，包括：传输管道，等离子体从所述传输管道的入口端进入所述传输管道并从所述传输管道的出口端输出，所述传输管道包括至少两个沿其周向间隔分布的电极板，至少两个所述电极板关于所述传输管道的轴心旋转对称；偏压供电装置，所述偏压供电装置用于对各所述电极板进行偏压供电并切换各所述电极板的供电状态以使所述传输管道的等离子体在向外运动和向内运动之间来回改变；所述偏压供电装置包括偏压电源和电源控制器，所述偏压电源与所述电源控制器连接，所述电源控制器对各所述电极板的供电状态进行切换；所述装置还包括导电环，所述导电环与所述电源控制器连接，所述导电环套接于所述传输管道并分别与每一所述电极板连接，所述偏压电源通过所述电源控制器和所述导电环对多个所述电极板供电；所述装置包括三个旋转对称的所述电极板，所述电源控制器为三相IC控制器，所述导电环为三相导电环，三个所述电极板通过所述三相导电环分别连接至所述三相IC控制器的三相，所述三相IC控制器与所述偏压电源连接；所述三相IC控制器将所述偏压电源转化为三相电以分别对三个所述电极板进行供电。

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权利要求：

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