申请/专利权人：深圳市恒运昌真空技术股份有限公司

申请日：2023-11-22

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117276162B

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01J37/32

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2024.01.26#著录事项变更;2024.01.09#实质审查的生效;2023.12.22#公开

摘要：本发明公开了一种等离子体处理设备，属于等离子体技术领域。本发明解决了现有等离子体处理设备在晶圆完成等离子体反应后无法立刻取出晶圆且不能自动码放晶圆的问题。本发明包括设备本体和传送退料机构；设备本体包括进料口和出料口；传送退料机构包括承载开合机构、料盒限位机构和收料盒；承载开合机构在进料口和出料口之间进行往复运动，承载开合机构包括两个连接件，两个连接件的一端活动连接，另一端与收料盒接触后张开，远离收料盒后关合；料盒限位机构中的限位凸块与收料盒限位连接。本发明通过承载开合机构的张开操作将晶圆推入收料盒内，完成对晶圆的取出和码放。

主权项：1.一种等离子体处理设备，其特征在于，包括设备本体和传送退料机构；所述设备本体包括分别设置在相对侧壁上的进料口和出料口；所述传送退料机构包括承载开合机构、料盒限位机构和具有多个晶圆收纳座的收料盒；所述承载开合机构在所述进料口和所述出料口之间进行往复运动；所述承载开合机构包括两个连接件，两个所述连接件的一端活动连接，另一端与所述收料盒接触后进行张开操作，将晶圆推入所述收料盒后，所述连接件复位；所述料盒限位机构包括转动件、第一连接件、第二连接件和限位凸块；所述转动件、所述第一连接件、所述第二连接件依次连接；所述第二连接件朝向所述收料盒的一侧设置所述限位凸块，所述限位凸块与所述收料盒限位连接；所述转动件设置在所述承载开合机构的往复运动路线上；所述第一连接件贯穿所述设备本体的侧壁后与所述第二连接件连接；所述第二连接件设置在所述设备本体的侧壁与所述收料盒之间；所述料盒限位机构还包括底座；所述底座固定在所述设备本体内部的底面上；所述转动件通过扭转弹簧与所述底座转动连接；所述传送退料机构还包括退料仓，所述退料仓固定在所述设备本体的侧壁，且所述收料盒在所述退料仓的内壁上滑动；所述传送退料机构还包括驱动机构和引导板；所述驱动机构连接在所述设备本体的内壁上；所述引导板的一端与所述驱动机构连接，另一端与所述连接件滑动连接；还包括接料机构，所述接料机构包括位于所述收料盒下方的小车；收料盒包括多个呈竖向排列的晶圆收纳座，每个晶圆收纳座具有一个收料入口，从反应腔出来的晶圆被推入晶圆收纳座存放，一个晶圆收纳座存放一片晶圆，通过料盒限位机构解除对收料盒的限位，已装有晶圆的晶圆收纳座下移，未装有晶圆的晶圆收纳座的收料入口正对出料口，等待装入晶圆；承载开合机构复位过程中触发料盒限位机构，料盒限位机构解除对收料盒的限位。

全文数据：

权利要求：

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