申请/专利权人：乐金显示有限公司

申请日：2019-10-09

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN111081715B

主分类号：H01L27/12

分类号：H01L27/12;H01L27/146

优先权：["20181018 KR 10-2018-0124615"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2020.05.22#实质审查的生效;2020.04.28#公开

摘要：薄膜晶体管阵列基板和包括其的数字X射线检测器。公开了通过增大填充因子来改进感光性，PIN二极管的稳定性提高并且使寄生电容的产生减少或最小化的用于高分辨率数字X射线检测器的薄膜晶体管阵列基板和包括该薄膜晶体管阵列基板的高分辨率数字X射线检测器。在一个实施方式中，PIN二极管最大程度地延伸，使得薄膜晶体管的电极和接触孔设置在PIN二极管内部。在电极或布线之间存在有机材料的平整层。另外，通过将偏置线设置成与数据线或选通线交叠而不与PIN二极管交叠来使PIN二极管的光接收区域增大或最大化。

主权项：1.一种薄膜晶体管阵列基板，该薄膜晶体管阵列基板包括：底座基板；薄膜晶体管，该薄膜晶体管设置在所述底座基板上，其中，所述薄膜晶体管包括有源层、栅极、连接到所述有源层的第一电极和第二电极；第一平整层，该第一平整层设置在所述薄膜晶体管上；以及PIN二极管，该PIN二极管设置在所述第一平整层上，其中，所述PIN二极管包括连接到所述薄膜晶体管的第三电极、在所述第三电极上的PIN层以及在所述PIN层上的第四电极，其中，所述第二电极与所述PIN二极管交叠，其中，所述薄膜晶体管阵列基板还包括通过其向所述PIN二极管施加偏置电压的偏置线，其中，所述偏置线被设置成不与所述PIN二极管交叠，其中，所述偏置线与所述薄膜晶体管阵列基板的数据线或选通线交叠并且沿着所述数据线或所述选通线延伸，而没有延伸超过所述数据线或所述选通线，其中，在所述有源层与所述第一电极和所述第二电极之间设置层间绝缘层，其中，所述有源层分别经由形成在所述层间绝缘层中的第一接触孔和第二接触孔连接到所述第一电极和所述第二电极，其中，所述第二接触孔与所述PIN二极管交叠，并且其中，所述第一接触孔被设置成与和所述PIN二极管相邻的其它PIN二极管交叠。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 乐金显示有限公司 薄膜晶体管阵列基板和包括其的数字X射线检测器

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