申请/专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司

申请日：2021-09-03

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN113745138B

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2021.12.21#实质审查的生效;2021.12.03#公开

摘要：本发明公开了一种磁浮装置，包括：内基磁体、第一端部磁钢、第二端部磁钢、内磁环磁钢阵列和线圈阵列，内基磁体沿轴向延伸；第一端部磁钢和第二端部磁钢分别位于内基磁体的两个轴向端并沿轴向延伸，且第一端部磁钢和第二端部磁钢的外径分别沿远离内基磁体的两个轴向端方向逐渐增大；内磁环磁钢阵列包括沿轴依次排列的至少一个内磁钢，内磁钢呈圆筒状，且每个内磁钢与内基磁体同轴设置，内磁环磁钢阵列位于内基磁体外且与内基磁体径向间隔开；线圈阵列包括多个线圈，多个线圈沿周向排列且沿周向间隔开，线圈阵列位于内磁环磁钢阵列外、与内磁环磁钢阵列径向间隔开；其中内基磁体、第一端部磁钢、第二端部磁钢以及线圈阵列相对固定。

主权项：1.一种磁浮装置，其特征在于，包括：内基磁体，所述内基磁体沿轴向延伸；第一端部磁钢和第二端部磁钢，所述第一端部磁钢和所述第二端部磁钢分别位于所述内基磁体的两个轴向端并沿轴向延伸，且所述第一端部磁钢和所述第二端部磁钢的外径分别沿远离所述内基磁体的所述两个轴向端方向逐渐增大；内磁环磁钢阵列，所述内磁环磁钢阵列包括沿轴依次排列的至少一个内磁钢，所述内磁钢呈圆筒状，且每个所述内磁钢与所述内基磁体同轴设置，所述内磁环磁钢阵列位于所述内基磁体外且与所述内基磁体径向间隔开；以及线圈阵列，所述线圈阵列包括至少一个子线圈阵列，每个所述子线圈阵列包括多个线圈，每个所述子线圈阵列中的多个所述线圈沿周向排列且沿周向彼此间隔开，所述线圈阵列位于所述内磁环磁钢阵列外、与所述内磁环磁钢阵列径向间隔开；其中所述内基磁体、所述第一端部磁钢、所述第二端部磁钢以及所述线圈阵列相对于彼此固定。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海隐冠半导体技术有限公司 磁浮装置和微动台

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